准分子光源系列

 

发出高强度172nm波长,切断有机物化学键,产生O3与C,H,OH相结合,生成H2O,CO2,CO等物质,被广泛使用于光清洁晶圆/玻璃基板表面有机物。

超高压水银灯

 

发出高强度365nm,405nm,436nm紫外线波长,用于曝光正/负性光阻,可在玻璃基板上描写2nm线宽电路。

金属卤素灯

 

发出高强度365nm,395nm紫外线波长,用于CELL段制程,固化彩膜和薄膜晶体管玻璃基板框胶。

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